The Hotplate/Coolplate HP 401-Z is divided into 16 zones. With this arrangement an excellent temperature profile over the entire 320x320 mm sized hotplate could be arranged. Further the HP 401-Z can be programmed to rump up the temperature by 10℃/min as well as cool down by 5℃/min. The maximum hotplate temperature is 250℃.
Proximity as well as loading pins are a useful feature to manually load different substrate sizes between 2℃to 12℃ A comfortable controller is capable to store up to 20 process programs.Allgemeine
Diese Heizplatte wurde entwickelt für
Backen von Glas- und Silizium-Substraten mit Durchmesser zwischen 50 und 300 mm.
Entfernen von Spannungen aus Wafern und Substraten.
Trocknen von Lack auf Substraten.
Wichtige Eigenschaften
16 Heizzonen
Grosser Temperaturbereich 10 bis 300°C
Substrat-Ladepins bis 15 mm hoch
Programmierbarer Prozess mit bis zu 20 Segmenten
Optionale N2 Flutung
Masse und Umgebungsanforderungen
Alle Angaben können ohne Mitteilung geändert werden.
Eigenschaften
Eigenschaft
Nomineller Wert
Spezifikation
Temperatur der Heizplatte
10 ... 300°C
Lade pins
Für Substrate von 50 ... 300 mm
Rostfreier Stahl mit keramischen Spitzen
Temperatur Anzeige
25.0 ... 150.0
Auflösung 0.1 °C
Plattengrösse
320 x 320 mm
Material: Aluminiumlegierung
Zeit bis Erreichen der eingestellten Temperatur
5 min
Durchschnitt
Substrat Hebung
0.1 ... 15 mm
Timer gesteuert (4 ... 5 sec)
Eigenschaft
Nomineller Wert
Spezifikation
Länge / Breite / Höhe
610 / 540 / 235 mm
mit geschlossenem Deckel
Gewicht
55 kg
Netzanschluss
3 x 400 VAC, 50/60Hz
Leistungsbedarf
8 kW
Druckluft
4 bar
einstellbar; Fitting für Rohr Ø 6/8 mm
Vakuum
technisches Vakuum
Fitting für Rohr Ø 4/6 mm
Kühlwasser
3 l/min bei 7 °C
Fitting für Rohr Ø 6/8 mm
Anschluss für Absaugung
20 ... 50 m3/h
Innerer Schlauch Ø 40 mm
N2 Einlass (Option)
technische Qualität
Fitting für Rohr Ø 6/8 mm
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